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兆聲波,顧名思義,是一種超頻率的超聲波,所以兆聲波清洗是一種超高頻的超聲波清洗。和超聲波清洗一樣,兆聲波清洗機是通過換能器,將功率超聲的聲能轉換成機械振動,將超聲波輻射到清洗液中,使液體中的微氣泡在兆聲波的作用下保持振動,從而破壞污染物與基材(清洗件)表面的吸附,引起污染物層的疲勞破壞并被剝離,從而達到清洗的目的。該應用主要利用的是超聲波的空化效應。兆聲波清洗的頻率更高,為兆赫茲級別的超高頻超聲波。相對于低頻超聲波的空化效應,兆聲波空化效應可以清除更小的顆粒并且能夠大幅度降低對于基材的損傷。

圖1.半導體晶圓
傳統(tǒng)的兆聲波清洗設備主要為噴淋式兆聲波清洗設備和槽式兆聲波清洗機。其中噴淋式兆聲波清洗的優(yōu)點在于可以直接將兆聲波能量聚焦于基材表面,聲能的傳遞效率比較高。但由于噴淋式聲能輻射面積較小,所以清洗速度比較慢,而且噴淋式會需要較大的清洗液流量,造成較大的清洗液浪費。槽式兆聲波清洗的優(yōu)點在于兆聲波換能器的面積較大,所以可以大面積輻射聲場,清洗效率較高,但缺點是兆聲波聲場在水槽中的分布不均勻,距離換能器越遠聲強就會越弱,且聲能的傳遞效率較低。
貼合式兆聲波清洗設備在噴淋式兆聲波清洗設備和槽式兆聲波清洗的基礎上,提出了更優(yōu)化的解決方案:它以相對大的面積直接將兆聲波聲能均勻的傳遞到基材表面,具有非常高的傳遞效率和聲場均勻性,提高清洗效率的同時也大大減少了清洗液的浪費,更適用于半導體晶圓等平面基材的清洗。

圖2.東方金榮超聲的貼合式兆聲波清洗機
北京東方金榮超聲的貼合式兆聲波清洗設備采用第三代半導體技術的兆聲波發(fā)生器,全面實現數字化高頻大功率驅動。貼合式兆聲波清洗機整體使用非金屬高防腐材質,適用于各種酸堿及有機溶劑的清洗工序,使其更加適用于半導體領域的晶圓清洗。